IGS面板不锈钢专用过滤器_精密高效工艺气体过滤器
SF系列IGS面板专用过滤器、用于半导体行业集成气体输送与控制系统、兼容C型和W型多种密封规格、实现0.003μm级高效颗粒过滤、保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量、适助力设备升级无忧。全316L不锈钢构造、坚固耐用、紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的表面安装元件、便于系统集成与模块化设计升级、安装维护便捷高效。
产品特点
▶ 整体316L不锈钢结构
▶ 小型化设计、结构紧凑、不占用空间优异的气体置换和解吸特性
▶ 耐高温、耐高压、耐腐蚀
▶ 电解抛光316L不锈钢外壳
▶ 安装与检修便捷高效
▶ 采用机械密封、结构上与介质无焊接
