高精度IGS面板专用过滤器_半导体行业集成气体输送与控制系统

SF系列IGS面板专用过滤器、用于半导体行业集成气体输送与控制系统、兼容C型和W型多种密封规格、实现0.003μm级高效颗粒过滤、保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量、适助力设备升级无忧。全316L不锈钢构造、坚固耐用、紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的表面安装元件、便于系统集成与模块化设计升级、安装维护便捷高效。

产品特点

●  整体316L不锈钢结构

●  小型化设计、结构紧凑、不占用空间优异的气体置换和解吸特性

●  耐高温、耐高压、耐腐蚀

●   电解抛光316L不锈钢外壳

●  安装与检修便捷高效

●  采用机械密封、结构上与介质无焊接

应用领域

●  半导体制造

在半导体制造中，气体的纯净度直接影响芯片的质量和性能。SF系列IGS面板专用过滤器能够有效去除气体中的杂质，确保气体的高纯度，从而提高芯片的良品率和生产效率。

●  集成气体输送与控制系统

该过滤器兼容C型和W型多种密封规格，能够无缝集成到现有的气体输送与控制系统中，实现高效的气体净化和输送。

●  设备升级与模块化设计

采用符合SEMI标准的表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级。其紧凑的体型和便捷的安装维护特性，使其成为设备升级的理想选择。