一、气动三联件概述
气动三联件，作为超高纯电子特气系统中的关键装置，由空气过滤器、减压阀和油雾器三大核心元件组成。采用优质不锈钢材质，具备耐腐蚀、结构精巧、工艺精良等显著特点。在超高纯电子特气系统中，气动三联件发挥着至关重要的作用，对气源进行过滤、减压和润滑处理，确保系统的稳定运行和高效性能。
1. 空气过滤器
空气过滤器负责净化气源，有效过滤压缩空气中的水分、油雾和固体杂质，为系统提供纯净的气源。
2. 减压阀
减压阀对气源进行稳压处理，确保气压恒定，保护气动系统中的阀门和执行器免受气压波动的影响。
3. 油雾器
油雾器负责润滑机体运动部件，减少摩擦和磨损，延长设备使用寿命，同时提高系统的运行效率。
二、气动三联件安装方法
1. 安装前准备
部件检查：确保购买的气动三联件所有部件齐全且完好无损，避免安装过程中因部件缺失或损坏而影响使用。
接口确认：确认三联件的进气口与出气口与接管接头的牙型是否匹配，确保连接紧密，避免气体泄漏。
管道清洗：清洗连接管道及接头，去除油污和杂质，防止脏物带入气路，影响三联件的过滤和润滑效果。
油雾器准备：如需使用油雾器，请预先准备JIS K2213输机油或ISOVg32润滑油或同级用油，确保油雾器正常工作。
2. 安装顺序
在安装气动三联件时，必须遵循特定的顺序：气路自空气过滤器进入，经过减压阀后，自油雾器出，油雾器的出气口与下游设备相接。这一顺序确保了气体的过滤、减压和润滑过程，保证了设备的顺畅运行。
3. 固定与调试
固定安装：使用固定支架将三联件固定在合适的位置，确保固定支架的凸槽与本体上凹槽匹配，再用固定片及螺丝锁紧。稳固的安装可以防止三联件在运行过程中的振动和位移。
减压阀调整：在调整减压阀的工作压力时，应先将油雾器拆下，避免对其造成意外损害。调整时，顺时针旋转减压阀的旋钮增加进气流量(提高出口压力)，逆时针旋转则减少进气流量(降低出口压力)。调整完成后，重新安装油雾器，并进行压力测试，确保压力稳定。
密封性检查：确保每个连接口的密封性良好，使用密封垫圈或涂抹密封剂来防止气体泄漏。良好的密封性是确保三联件正常运行和气压稳定的关键。
4. 使用与维护
定期检查：定期检查气动三联件的工作状况，及时替换滤芯等易损部件，确保三联件的过滤和润滑效果。
充分润滑：确保对油雾器进行充分的润滑，以延长设备的使用寿命和提高运行效率。
5. 注意事项
使用压力：请勿超过三联件的使用压力范围，以避免因超压而引起的设备损坏或安全事故。
滤芯更换：当出口风量明显减少时，应及时更换滤芯，以保证三联件的过滤效果。
通过以上详细的安装指南，您可以更好地了解气动三联件在超高纯电子特气系统中的重要作用，并掌握正确的安装方法。正确的安装和维护将确保三联件的稳定运行和高效性能，为您的超高纯电子特气系统提供可靠的气源处理解决方案。
发布时间 25-01-24