气体专用过滤器,以 0.003μm 过滤精度护航超高纯气体工艺!

在现代工业进程中,众多领域对于超高纯气体的需求日益增长,尤其是半导体、制药、电子等行业,气体纯度直接关乎产品质量与生产成败。在保障超高纯气体质量的复杂体系里,恒歌 BF 系列过滤器凭借其 0.003μm 的卓越过滤精度,成为守护超高纯气体工艺的核心力量。

 

一、关键应用领域的严苛需求

1、半导体制造:芯片制造的纳米级精度保障

半导体制造堪称当今科技产业的皇冠明珠,芯片制造过程对环境与原材料纯净度要求近乎苛刻。在光刻、蚀刻、薄膜沉积等关键工艺环节,哪怕极其微量的杂质颗粒都可能引发芯片线路短路、断路等严重缺陷,导致芯片性能下降甚至报废。例如,在先进制程的光刻工艺中,光源的波长不断缩短至深紫外乃至极紫外波段,这要求光刻气体的纯度达到 ppt(万亿分之一)级别。任何大于 0.003μm 的颗粒杂质一旦进入光刻系统,就会在芯片表面形成瑕疵,干扰光的传播与成像,使得芯片图案的精度无法达到纳米级别的设计要求。BF 系列过滤器以其无与伦比的过滤精度,将光刻气体中的杂质颗粒拒之门外,为芯片制造的每一步纳米级精度操作提供稳定、纯净的气体环境,大幅提升芯片的良品率与性能表现。

2、制药行业:药品质量与安全的源头保障

药品生产关乎生命健康,其对原料气体的纯净度要求不容有丝毫妥协。在无菌药品的冻干、罐装工艺以及药品合成过程中,使用的压缩空气、惰性保护气体等必须经过严格过滤,以防止微生物、尘埃粒子等杂质污染药品。微生物一旦混入药品,可能在储存过程中滋生繁殖,引发药品变质;而尘埃粒子可能影响药品的外观、溶解性以及药效。以注射剂生产为例,BF 系列过滤器能够精准过滤掉气体中的微生物和亚微米级别的尘埃粒子,确保药品在生产过程中始终处于无菌、无尘的环境,从源头上保障药品的质量与安全性,满足药品生产质量管理规范(GMP)的严苛标准。

3、电子元器件制造:高精度电子设备的性能基石

随着电子产品不断向小型化、高性能化发展,电子元器件的制造精度也在持续提升。在电容器、电阻器、传感器等电子元器件的生产过程中,需要使用高纯气体进行气相沉积、刻蚀等工艺。以制造高精度的 MEMS(微机电系统)传感器为例,其内部结构尺寸往往在微米甚至纳米量级,气体中的杂质颗粒极易在沉积过程中附着在传感器表面,改变其物理特性,影响传感器的灵敏度、精度和稳定性。BF 系列过滤器的 0.003μm 过滤精度,能够有效净化工艺气体,确保电子元器件制造过程的高纯度环境,为生产高性能、高可靠性的电子设备奠定坚实基础。

气体2

二、BF 系列过滤器的技术优势剖析

1、先进的过滤介质与结构设计

BF 系列过滤器采用了创新性的多柱状或叠盘状过滤介质构型,这种独特设计极大地增加了过滤介质的表面积,使气体与过滤介质能够充分接触。同时,过滤介质的材质选用高品质的 316L 不锈钢,经过精密加工处理,形成了孔径均一且微小的孔隙结构,其最小孔径可达 0.003μm。当超高纯气体通过过滤器时,杂质颗粒在机械拦截、惯性碰撞、扩散吸附等多种过滤机制的共同作用下,被高效地捕获在过滤介质表面或内部。多柱状或叠盘状结构还确保了在高气体流量下,过滤器依然能够保持低阻损,使气体能够顺畅通过,既保证了过滤效率,又不影响生产过程中的气体供应稳定性。

2、严格的制造工艺与质量控制

为了实现 0.003μm 的超高过滤精度,恒歌在 BF 系列气体过滤器的制造过程中遵循极其严格的工艺流程和质量控制标准。从原材料的采购开始,就对 316L 不锈钢的成分、纯度进行严格检测,确保其符合高品质要求。在加工过程中,运用先进的精密加工技术,对过滤介质的孔隙尺寸、形状进行精确控制,保证每一个过滤器的过滤性能一致性。每一台 BF 系列过滤器在出厂前都要经过 100% 完整性测试和 100% 氨气检漏测试。完整性测试采用专业的检测设备和方法,对过滤介质是否存在破损、泄漏等缺陷进行全面检查;氨气检漏测试则利用氨气分子的高扩散性,检测过滤器的密封性,确保在实际使用过程中,气体不会从过滤器的连接处或其他部位泄漏,从而保证过滤效果的可靠性和稳定性。

 

三、持续创新,引领行业发展

在未来,恒歌将持续投入研发力量,不断优化 气体过滤器的性能。一方面,通过材料科学的创新,探索新型的过滤材料,进一步提高过滤介质的过滤精度、机械强度和化学稳定性,以适应更加严苛的超高纯气体工艺需求。另一方面,借助先进的模拟仿真技术,对过滤器的内部结构和气体流场进行优化设计,提高过滤效率,降低能源消耗,为客户提供更加高效、节能的过滤解决方案。同时,恒歌也将紧密关注行业动态和客户需求,不断拓展 BF 系列过滤器的应用领域,为推动各行业的技术进步和高质量发展贡献力量。

恒歌 BF 系列气体过滤器以其 0.003μm 的卓越过滤精度,在超高纯气体工艺领域发挥着不可替代的关键作用。它不仅满足了当前半导体、制药、电子等行业的严苛需求,更为未来相关行业的技术突破和产业升级提供了坚实的支撑。


发布时间 25-04-11
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