在半导体制造领域，气体的纯净度对生产质量起着至关重要的作用。纳微米气体过滤器作为保障气体纯净的关键设备，是半导体生产中不可或缺的一部分。随着半导体技术向更先进的制程发展，对气体纯净度的要求越来越高，传统的过滤器已经难以满足高纯气体的微粒清除需求。恒歌作为专业的纳米微米气体过滤器生产厂家，凭借深厚的技术积累和丰富的行业经验，成功攻克了这一难题，为客户提供了一套定制化的解决方案。
一、客户面临的挑战
在半导体制造过程中，超纯气体的使用极为关键，其纯净度直接影响到芯片的质量和性能。客户在生产中使用的是超高纯气体(UHP)，这种气体对微粒的敏感度极高，即使是极少量的亚微米级(0.1 – 1μm)微粒也可能导致光刻图案失真、刻蚀不均匀等生产问题。传统的过滤器在清除微粒方面存在诸多不足，如过滤效率仅能达到 99.9%，难以满足半导体行业对超纯气体的净化要求;压力损耗普遍>0.5MPa，导致气体传输效率降低;同时，复杂的多层结构设计增加了维护难度与二次污染风险。此外，半导体生产环境涉及等离子体刻蚀、化学气相沉积(CVD)等高温高压工艺，对设备的耐高温(需持续耐受 200 – 450℃)、耐高压(工作压力 5 – 15MPa)、耐腐蚀(抵抗含氟、氯等腐蚀性气体)等性能也有严格要求，传统过滤器往往难以适应这种苛刻的工况。客户急需一款能够精准清除 UHP 超纯气流微粒、保障生产纯净度的过滤器，以确保生产的顺利进行和产品质量的提升。
二、恒歌的定制化解决方案
恒歌针对客户的特殊需求，为其定制了F型直通式气体过滤器 (TF 系列工艺气体专用过滤器)。这款过滤器专为半导体领域设计，具有以下显著特点：
1. 卓越的微粒过滤性能
TF 系列过滤器采用先进的 316L 不锈钢粉末烧结滤芯技术，能够精准拦截超纯气流中的微粒，颗粒拦截效率高达 99.9999999%(9LRV)@30slpm，确保气体的超高纯净度。其高通量、低阻力的设计，大幅降低了压力损耗，氦气验证泄漏率仅为 2×10⁻¹⁰ cc/min，氦气测试泄漏率仅为 1×10⁻¹⁰ cc/min，满足半导体生产对气体流量和压力的严格要求。
2. 坚固耐用的结构设计
过滤器整体采用顶级 316L 不锈钢全材打造，结构紧凑轻盈，工作压力可达 207 bar(3000 psig)，工作温度范围为 -28℃ – 482℃，具有超强的耐高温、耐高压、耐腐蚀性能，能够适应半导体生产中的各种苛刻工况。这种材质不仅能够有效抵抗含氟、氯等腐蚀性气体的侵蚀，还能确保设备在长期使用过程中的稳定性和可靠性。
3. 简便的安装与维护
TF 系列过滤器采用 F 型直通式设计，结构紧凑，节省空间，仅需进行气路对接与螺母紧固，无需焊接，避免了焊接过程中可能产生的污染和风险，确保密封无忧。此外，过滤器的维护也非常方便，更换滤芯简单快捷，无需拆卸整个设备，大大减少了维护时间和成本。
4. 严格的质量控制
恒歌建立了严格的生产质量控制体系，对 TF 系列过滤器的生产过程进行全流程质量管控。每一件产品均经过 100% 完整性测试和 100% 氨气检漏测试，确保产品的性能和质量达到最高标准。这种严格的质量控制措施，为客户提供了可靠的保障，使客户能够放心使用。
三、成功交付与客户反馈
在恒歌的定制化解决方案下，F型直通式气体过滤器 (TF 系列工艺气体专用过滤器)经过多次严格的测试和验证，完全满足了客户对超纯气体微粒清除的要求。在某半导体生产线的实际使用过程中，过滤器持续稳定运行 6 个月无性能衰减，晶圆表面缺陷率降低 82%，生产效率提升 35%，产品良品率从 89% 提升至 96%。客户对恒歌的产品和服务给予了高度评价，认为恒歌的专业技术团队和定制化解决方案为他们解决了长期困扰的难题，为半导体生产的顺利进行提供了有力支持。
恒歌凭借其在纳微米气体过滤器领域的专业技术和丰富经验，成功为半导体客户定制了一款能够精准清除 UHP 超纯气流微粒的 F型直通式过滤器 (TF 系列工艺气体专用过滤器)。这款过滤器以其卓越的微粒过滤性能、坚固耐用的结构设计、简便的安装与维护以及严格的质量控制，赢得了客户的信赖和认可。恒歌将继续致力于为客户提供高质量、高性能的气体过滤解决方案，助力半导体产业的发展。如果您也面临着类似的气体微粒污染难题，欢迎与恒歌联系，我们将为您提供专业的定制化解决方案。
发布时间 25-04-19