不锈钢在线式专用气体过滤器 大流量特种气体过滤专用
0F系列在线式专用气体过滤器，专为高流量电子级气体超纯净化设计，过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高，与多种半导体工艺气体兼容，尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳，确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒，在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤，满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。
产品特点
● 整体316L不锈钢结构
● 适合高温应用
● 超高颗粒拦截率
● 高流量、高强度、稳定可靠
● 适用于多种工艺气体
● 可选其它点位在线安装，方便快捷
● 100%完整性测试
● 100%氨气检漏测试
